閉循環(huán)低溫探針臺(tái)真空晶圓測(cè)試儀LH-CRPS-5K是性價(jià)比很高的一款無需消耗制冷劑，依靠制冷機(jī)提供冷源的閉循環(huán)低溫探針臺(tái)。此款低溫探針臺(tái)設(shè)計(jì)的初衷就是多功能和優(yōu)秀的專業(yè)測(cè)量性能，為制冷劑獲得比較困難和追求操作便利的客戶提供了一個(gè)可行的解決方案。通過閉循環(huán)制冷機(jī)降溫，降溫過程中不需要其它輔助設(shè)備，只需要很少的電能即可，也不需要科研人員值守操作。

　　豐富的選件和配置確保科研人員能夠?qū)嵤﹪?yán)苛的、富有挑戰(zhàn)的測(cè)試測(cè)量。LH-CRPS-5K是德世閉循環(huán)探針臺(tái)家族中，能實(shí)現(xiàn)蕞低溫度的探針臺(tái)，蕞低溫度低于5K。多個(gè)溫度傳感器分布于探針臺(tái)各個(gè)位置，確保溫度監(jiān)視和測(cè)量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。由于是二級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)提供冷源，這樣能保證樣品溫度維持在相對(duì)較高的溫度，同時(shí)樣品處于真空環(huán)境中，減少了凝結(jié)的可能性，在一些有機(jī)材料的嚴(yán)格測(cè)試要求中這一點(diǎn)比較重要。

　　LH-CRPS-5K最大可安裝樣品臺(tái)直徑102mm(4in),出廠時(shí)標(biāo)準(zhǔn)配置三同軸樣品臺(tái)，直徑51mm(2in)

　　探針臺(tái)原理及應(yīng)用

　　德世的低溫探針臺(tái)為材料早期無損電性能測(cè)量提供了一個(gè)精準(zhǔn)的低溫磁場環(huán)境。探針臺(tái)是物理科學(xué)家和研究人員對(duì)材料研究的有利便捷工具、并且測(cè)試測(cè)量重復(fù)性一致性比較好。探針臺(tái)也可以作為一個(gè)靈活多用的公共測(cè)試平臺(tái)。典型的應(yīng)用包括不同溫度下普遍的IV和CV曲線、微波測(cè)量、光電響應(yīng)、電輸運(yùn)特性、霍爾效應(yīng)測(cè)試以及其他類型的材料研究。

　　德世低溫探針臺(tái)提供了眾多的測(cè)試環(huán)境，可根據(jù)研究人員的需要自行選擇對(duì)應(yīng)型號(hào)，以滿足研究人員多樣化的應(yīng)用需求。從通用平臺(tái)到專業(yè)平臺(tái)，每個(gè)德世探針臺(tái)都經(jīng)過精心設(shè)計(jì)，以確保在整個(gè)溫區(qū)范圍內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)行和可靠的測(cè)量。

閉循環(huán)低溫探針臺(tái)真空晶圓測(cè)試儀

　　特點(diǎn)

　　◆無需消耗制冷劑

　　◆全程無值守降溫

　　◆豐富的選件和配件

　　◆遠(yuǎn)程軟件控溫

　　◆德世能實(shí)現(xiàn)蕞低溫度的閉循環(huán)制冷機(jī)探針臺(tái)

　　◆可定制最大4in的樣品臺(tái)(標(biāo)配2in)

　　溫度結(jié)構(gòu)

　　1.兩級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)提供冷源， 一級(jí)制冷平臺(tái)冷卻輻射屏，二級(jí)制冷平臺(tái)冷卻樣品臺(tái)

　　2. 防輻射屏包圍著樣品臺(tái)，頂端帶有可視窗口，安裝紅外吸收石英窗片

　　3. 兩級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)，在4.2K時(shí)有1.2W 的制冷量

時(shí)間參數(shù)：

◆抽空時(shí)間：0.5h(與泵組相關(guān))

◆降溫時(shí)間：從室溫到蕞低溫2h

◆升溫時(shí)間：從蕞低溫到室溫1.5h

樣品臺(tái)：

◆標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)：51mm(2in)

◆蕞大樣品臺(tái)：102mm(4in)選配

◆樣品臺(tái)背光：無

◆樣品臺(tái)類型：三同軸樣品臺(tái)(標(biāo)配)、接地樣品臺(tái)(選配)、0.15T垂直磁場樣品臺(tái)(選配)

◆樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)：無

探針：

◆探針數(shù)量：蕞多6個(gè)

◆探針傳感器：硅二極管，監(jiān)視探針溫度

◆探針托溫度：<20K樣品臺(tái)處于蕞低溫度

◆探針熱沉：熱沉到樣品臺(tái)或者相同溫度的防輻射屏

◆探針臂：熱沉到防輻射屏

◆DC/RF探針：絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100fA

◆微波探針：DC到67GHz,用于微波測(cè)量

◆光纖探針：用于光電測(cè)量，可選FC/APC或者SMA905接口，波長可選

探針位移：

◆X方向行程：50mm,移動(dòng)分辨率3μm

◆Y方向行程：25mm,移動(dòng)分辨率5μm

◆Z方向行程：25mm,移動(dòng)分辨率5μm

制冷劑消耗：

◆室溫到蕞低溫度：不需要

◆液氦消耗(5K):不需要

◆液氮消耗(80K):不需要

探針臺(tái)配置